直读光谱仪在90年代以前只能分析金属中气体元素C，S。后来光谱仪生产技术的提高，金属中气体元素系指C,S,N,O,H.九十年代以前光电直读光谱仪只能分析C，S.。随着光谱还有可用于远紫外的光电倍增管的出现，对充惰性气体光学系统的重新认识与改进，光电直读光谱对于气体元素分析有了巨大的飞跃。

对于氮的分析是光电直读光谱分析新的突破，在最初是用174.27nm谱线测量，但是测量稳定性差，氮的含量也得高，所以实际应用不高。之后采用149.47nm谱线测定钢中氮，检测限可达5ppm，稳定性很好。

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以前碳只用193.09nm谱线测定，钢铁中检测限为5ppm，现在根据需要可使用165.70nm谱线，钢铁及铜中碳的检测限可达1ppm.关于氧的光电直读光谱分析是近几年开展的，铜中检测限为10ppm，钢铁中为15ppm，光电直读光谱分析铁中氢检测限为8ppm.

目前光电直读光谱可以超低碳分析，钢中氮分析，纯铜中碳、硫、氧分析，以及钦中氢的分析。国内在钢中定氮，纯铜中定氧的工作也逐步开展起来。一般来说测定氮、氧、氢的光电倍增管需要特殊的光学材料，这样才可以减少其自身对谱线的吸收。所以这些光电倍增管价格要贵上许多，所以仪配置上这些通道的仪器价格也较一般贵。

总的来说，虽然直读光谱仪在分析气体元素上有了很大进展，但是相比专用的碳硫分析仪，氧氮分析仪及氢分析仪，在检测方面还是有差距的，它还有很大的发展空间。